清華實驗室無塵區黃光室清洗站槽(2座)
儀器說明
一、 廠牌與型號：
二、重要規格
需小於6吋WAFER(包含6吋WAFER)
三、注意事項：
若實驗內容含有金屬或者丙銅(Aceton)請在站槽的左半邊操作(禁止使用右半邊)右方為黃光製程使用(兩座的左半邊皆為金屬操作區，右半邊為黃光製程操作區)
禁止操作酸鹼
黃光室為共用空間，請勿放置私人實驗用品，如未經申請放置化學藥品或私人實驗用品，沒收並收取相關費用
使用後之化學廢液，請回收於化學藥品回收櫃
四、操作手冊
下載黃光室清洗槽手冊
下載旋塗機手冊
下載加熱器及排風罩手冊
五、負責人員