雙面光罩對準機（Double Side Aligner）
儀器說明
一、 廠牌與型號：
Electronic Visions Co.／ EV620 mask aligner
 |
二、用途
1. silicon top to bottom side alignment
2. silicon to glass alignment before anodic bonding
三、重要規格
晶圓規格：矽晶圓四吋或六吋，厚度介於0.1∼2 mm，嚴格禁止破片放入
光罩規格：五吋或七吋的mask，厚度小於4 mm
對準範圍：X, Y, Z： +/- 5 mm；Theta： +/- 3.5度
對準精度：正面對準0.5μm；雙面對準：1μm
結合對準：silicon/glass 0.5μm; silicon/silicon 1μm
曝光模式：soft contact, hard contact, vacuum contact
目鏡移動範圍：
- Top side: X: 30-130 mm; Y: +70/-4 mm; Z: +/-5 mm
- Bottom side: X: 30-100 mm; Y: +/-12 mm; Z: +/- 5 mm
四、服務項目及收費標準
| 設備名稱 / 服務項目 | 清大 | 其他學界 | 業界 | ||
|
雙面光罩對準機（Double Side Aligner） |
委託代工 |
開機費(2hr) |
3,500元/次 |
5,000元/次 |
6,500元/次 |
|
超過開機時間 加收費 |
1,500元/時 |
2,500元/時 |
3,000元/時 |
||
|
自行操作 |
開機費(2hr) |
1,600元/次 |
2,400元/次 |
3,200元/次 |
|
|
超過2hr 每15分鐘加收 |
200元/刻鐘 |
300元/刻鐘 |
400元/刻鐘 |
||
五、操作手冊
六、代工申請表
代工交件、取件統一窗口為 林瑟蘭 小姐，送代工前請先向機台負責人連繫 ( 電話或電郵 ) 確認後，送件至中心 林小姐
七、機台即時訊息
八、負責人員