多探針真空變溫電性量測系統
利用溫控平台及液態氮冷卻系統進行奈米元件/奈米材料電性量測室溫電性量測、低溫電性量測。
(1) FESEM：場發射掃瞄式電子顯微鏡
(2) Nano-Manipulator System：奈米探針量測系統
(3) L-N2 Cryostat：液態氮冷卻平台系統
(4) I–V Measurement System：電流電壓量測系統
場發射掃瞄式電子顯微鏡
【廠牌型號】：JSM-7000F, JAPAN ELECTRON OPTICS LABORTARY CO., LTD. (JEOL)
奈米探針量測系統
【廠牌型號】：Four Needles Experimental Probing Device, Kammrath & Wiess GmbH
液態氮冷卻平台系統
【廠牌型號】：Liquid Nitrogen Cryostat, Kammrath & Wiess GmbH
電流電壓量測系統
【廠牌型號】：Keithley Model 4200-SCS
影像解析度：< 3 nm (加速電壓15 kV)
探針移動範圍：X = 15 mm, Y = 15 mm, Z = 10 mm
探針最佳移動解析度：X=2 nm, Y = 2nm, Z = 2 nm
冷卻平台可控制溫度範圍：80 K–298 K
電流-電壓量測系統之電壓可調範圍：2 mV–200 V
電流-電壓量測系統之信號量測單元 (SMU) 頻道數：4X
電流-電壓量測系統之電流解析能力（含信號線）：< 500 fA
(Only for SMU 1 & SUM 2 with preamplifiers)
| 設備名稱 / 服務項目 | 清大 | 其他學界 | 業界 | ||
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多探針真空變溫電性量測系統 （Multi-Probe Nano-Electronics Measurement System）
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室溫元件量測 |
開關機費 |
1,000元/次 |
1,500元/次 |
2,000元/次 |
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設備 使用費 |
500元/時 (自備探針) |
600元/時 (自備探針) |
1,000元/時 (自備探針) |
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低溫元件量測 |
開關機費 | 1,000元/次 | 1,500元/次 | 2,000元/次 | |
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設備 使用費 |
500元/時 (自備探針及氮氣費用另計) |
600元/時 (自備探針及氮氣費用另計) |
1,000元/時 (自備探針及氮氣費用另計) |
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