高分子化學氣相沈積系統（Polymer Deposition System (PDS)）
儀器說明
一、 廠牌與型號：
PDS2010
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二、用途
Parylene coating
三、重要規格
Parylene C、N、D
可接受4"、6" wafer及破片
容量最大可放4"wafer 9片(三層)
四、服務項目及收費標準
| 設備名稱 / 服務項目 | 清大 | 其他學界 | 業界 | ||
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高分子化學氣相沈積系統（Polymer Deposition System (PDS)） |
委託代工 |
開機費(8hr) |
5,000元/次 |
7,500元/次 |
10,000元/次 |
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超過開機時間 加收費 |
700元/時 |
1,000元/時 |
1,400元/時 |
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自行操作 |
開機費(8hr) |
4,000元/次 |
5,600元/次 |
8,000元/次 |
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超過8hr 每15分鐘加收 |
125元/刻鐘 |
175元/刻鐘 |
250元/刻鐘 |
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五、操作手冊
六、代工申請表
代工交件、取件統一窗口為 林瑟蘭 小姐，送代工前請先向機台負責人連繫 ( 電話或電郵 ) 確認後，送件至中心 林小姐
七、機台即時訊息
八、負責人員