技職同仁
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姓名 (職稱) |
承辦業務 |
職務 代理人 |
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李培菁 (行政組員) 電話:03-5715131 # 42269 E-mail: pclee@mx.nthu.edu.tw
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●中心綜合行政事務管理及中心經費管理 |
張雯琳 |
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張雯琳 (行政組員) 電話:03-5715131 # 42268 E-mail: wlchang@mx.nthu.edu.tw
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●中心計畫經費管理及中心收費管理 |
李培菁 |
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莊婉勤 (行政組員) 電話: 03-5715131 # 42266 E-mail:
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●代工收件、靶材借用、光阻零售 ●機台使用及委託代工費用收款 ●收支並列計畫帳務 |
謝慧如 |
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劉湘雅 (行政組員) 電話:03-5715131 # 42267 E-mail: syliou@mx.nthu.edu.tw
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●高中營課程業務 ●儀器訓練課程業務 ●奈米材料分析課程業務 ●清大/欣興聯合研究中心業務 |
張雯琳 謝慧如 |
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林瑟蘭 (行政組員) 電話: 03-5715131 # 42264 E-mail: sellin@mx.nthu.edu.tw
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●奈米與微製程實驗訓練班課程及環安訓練課程業務 ●清華實驗室提供耗材、藥品和無塵衣鞋之無塵室業務 |
謝慧如 |
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莊婉勤(聯絡窗口) (行政組員) 電話: 03-5715131 # 42266 E-mail:
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●FIB機台代工與訓練 |
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陳柏廷 (育嬰留職停薪) (技士) 電話: 03-5715131 # 42289 E-mail:
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●無塵室廠務業務(空調系統、空壓系統、超純水系統的交互運作、維護、保養、管理) ●奈材中心環安衛水電管理 |
黃如君 |
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黃如君 (技術組員) 電話:電話: 03-5715131 # 42489 E-mail:
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●無塵室環安業務 ●無塵室機台管理 |
陳柏廷 |
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宋明穎 (技術組員) 電話: 03-5715131 # 42290 E-mail:
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●無塵室機台管理： 無塵區黃光室清洗站及附屬設備(代理人：郭文鳳) 無塵區化學清洗室(代理人：張瀞文) EVG610雙面光罩對準機(代理人：張瀞文) NX2000奈米壓印系統(代理人：戴依馨) 電漿反應離子蝕刻系統(RIE) (代理人：郭文鳳) ●無塵室廠務業務支援 |
(詳左) |
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張瀞文 (技術組員) 電話: 03-5715131 # 42298 E-mail:
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●無塵室機台管理： 電子鎗真空蒸鍍系統 (E-Gun III) (代理人：吳若穎) 直流式真空濺鍍系統(DC Sputter System) (代理人：郭文鳳) 無塵區化學清洗室(代理人：宋明穎) 紫外光臭氧清洗系統(UV & Ozone Dry Stripper) (代理人：郭文鳳) |
(詳左) |
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戴依馨 (研究助理) 電話: 03-5715131 # 42292 E-mail:
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●SEM機台代工與訓練 ●AFM機台代工與訓練 ●solar simulator機台代工與訓練 ●IPCE機台代工與訓練 |
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吳若穎 (研究助理) 電話: 03-5715131 # 42291 E-mail:
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●無塵室機台管理 電子鎗真空蒸鍍系統 (E-Gun II) (代理人：郭文鳳) 電漿輔助化學氣相沈積系統(PECVD)(代理人：張瀞文) 高分子化學氣相沈積系統(PDS)(代理人：宋明穎) 快速熱退火系統(RTP) (代理人：宋明穎) 橢圓儀(Spectroscopic Ellipsometry)(代理人：戴依馨) |
(詳左) |
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郭文鳳 (研究助理) 電話: 03-5715131 # 42299 E-mail:
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●無塵室機台管理 電子鎗真空蒸鍍系統 (E-Gun I)(代理人：吳若穎) 射頻濺鍍系統(RF Sputter System) (代理人：張瀞文) EVG620單面曝光黃光微影製程(代理人：宋明穎) 光阻去除系統(O2 Plasma Cleaning System) (代理人：戴依馨) 探針式輪廓儀(α- Step)(代理人：鄭培眉) |
(詳左) |
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鄭培眉 (研究助理) 電話: 03-5715131 # 33313 E-mail:
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●無塵室機台管理 DLP無光罩曝光機 電子束微影系統(E-beam lithography System) |
岑尚仁 |
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謝慧如 (約僱管理員) 電話: 03-5715131 # 42265 E-mail: hsieh2@mx.nthu.edu.tw
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●共用實驗室門禁及機台權限開卡 ●中心公文遞送、清潔庶務工作 |
林瑟蘭 劉湘雅 |
