原「材料科學中心」係奉行政院函於民國73年成立，屬教育部立案之編制內中心，其宗旨在依「加強培育及延攬高級科技人才方案」之基本精神，推動整合型材料科技研究計畫，同時配合校方長期研究規劃目標，加強人才與專業之組合及設備功能之系統性，對校內外相關系所及產業界之教學研究提供支援服務。重點研發方向係配合國內外學術與產學科技發展需求趨勢而定，近年來為因應2000年以後全世界對於奈米與能源科技需求發展的重視，在既有架構與成果下，將發展重心往奈米材料技術方向調整，同時推展能源材料研究，一方面以奈米尺度與奈米特質材料的研發為重心重新整合各實驗室之研究資源，另一方面成立能源材料實驗室來推動電池材料、固態電解質及燃料電池等相關研究，並加強奈米科技在其中之應用。

　　原「奈米與微系統科技中心」係在研發處規劃下於民國90年設立，屬校級非編制內研究中心，其宗旨在促進跨領域科技之整合研究，凝聚校內外之學者專家針對奈米與微系統相關科技進行深入研究與國內外產學與研究機構交流，提昇我國相關學術研究與產學技術之國際競爭力。重點研發方向為奈米電子、奈米光電、奈米生技及奈米民生化工，發展重心包括奈米CMOS電晶體、量子點結構體系、奈米碳管元件及奈米微影製程等。擁有相當完整之半導體元件、微機電元件、奈米壓印的製程設備及奈米量測設備等，與材料中心共用之精密的奈米材料製成設備可以共用及互補。

　　有鑑於兩個研發中心重點發展方向相近，雙方之設備資源與研究人力重疊性與互補性高，二者整合為一體更可提昇本校在奈米與材料科技上之研發實力與資源使用效率，於95學年度兩中心合併，更名為「奈微與材料科技中心」。