多探針奈米電性量測系統位於教育館中，這個系統提供了一個用來研究奈米材料之電傳導性質的平台，其中，利用壓電材料之奈米探針可實現奈米操控術；利用高解析度之場發射電子顯微鏡，可輕易地觀察直徑小於頭髮萬分之一的奈米材料；利用高解析之電源供應器，可解析奈米材料電子元件之電傳導性質。

1. FESEM：場發射掃瞄式電子顯微鏡
2. Nano-Manipulator System：奈米探針量測系統
3. L-He Cryostat：液態氦冷卻平台系統
4. I–V Measurement System：電流電壓量測系統

1. 場發射掃瞄式電子顯微鏡
   【廠牌型號】：JSM-7000F, JAPAN ELECTRON OPTICS LABORTARY CO., LTD. (JEOL)
2. 奈米探針量測系統
   【廠牌型號】：Four Needles Experimental Probing Device, Kammrath & Wiess GmbH
3. 液態氦冷卻平台系統
   【廠牌型號】：Liquid Helium Cryostat, Kammrath & Wiess GmbH
4. 電流電壓量測系統
   【廠牌型號】：Keithley Model 4200-SCS

影像解析度：< 3 nm (加速電壓15 kV)
探針移動範圍：X = 15 mm, Y = 15 mm, Z = 10 mm
探針最佳移動解析度：X=2 nm, Y = 2nm, Z = 2 nm
冷卻平台可控制溫度範圍：5 K–373 K (~ L-He–~ 100 °C)
電流-電壓量測系統之電壓可調範圍：2 mV–200 V
電流-電壓量測系統之信號量測單元 (SMU) 頻道數：4X
電流-電壓量測系統之電流解析能力（含信號線）：< 500 fA
(Only for SMU 1 & SUM 2 with preamplifiers)

1. 元件量測：各種電子元件及奈米結構在室溫(~300 K)範圍之電性量測
2. 元件低溫量測：各種電子元件以及奈米結構在低溫(down to ~ 5 K)範圍之電性量測
3. 奈米材料操作：各種奈米材料之空間移動及機械操作（不提供委託服務）