奈米量測與製程技術

除了整合現有的奈米量測設備外，亦將進行新的奈米檢測設備之建構，如超快雷射系統，用來研究載子電荷與自旋的生命期，亦可用來作非線性光學性質的量測，兆赫波光譜量測及成像等。低溫低雜訊量測系統，以從事量子位元及量子運算之量測工作。除了維護及汰舊換新現有的製程設備外，將整合現有無塵室空間，以資最有效的利用。另將著重奈米微影製程的開發，目前已完成奈米壓印系統與電子束微影系統之建置，提供完整的奈米微影實驗室予本校同仁從事相關研究。

奈米新材料與民生科技

除了延續有優良成果且已具知名度的奈米高熵合金、磁性半導體、有機小分子及複合材料的研發外，本校將結合生命科學與材料研發團隊，開拓新的生命材料之製程與研發，或學習生命製程來發展新材料。另外利用本校已建立的材料研究，如奈米碳管、高熵合金、奈米複合材料、奈米催化劑等，來從事與民生直接相關的生產技術研究，如特殊金屬材料，軟式電子載具，奈米碳管線、繩、布，氫燃料電池等，以達成促進傳統產業之奈米加值化的目標。

奈米電子與光電

將以高介電係數材料與奈米碳管的製作與元件的開發，及電子自旋材料的製作與元件的開發為主，並整合本校在有機小分子及高分子的研發能量，積極投入可撓式電子元件的研究。在遠程的研究方面，將整合研究人力，有系統的投入量子資訊元件及次系統的研發。在光電研究方面，將以非線性奈米光學及奈米碳管的光電性質的研究、創新光電半導體材料及有機小分子及高分子發光材料之開發為主，並積極成立研究團隊來從事光波導元件、積體光電及次系統的研發。

奈米生物科技

主要的重點有生物細胞與分子操控，並探討分子與生物細胞之間的反應機制；研究並利用奈米載體應用於藥物釋放及基因傳遞；及利用先進奈米技術，研究神經網絡與記憶奈米分子的成長等。此部分將與本校生命科學院及生工中心互相配合及合作。