清洗站 號碼:A1226W 品保:MANDY 廠商 拓技科技股份有限公司
清洗
需小於6吋WAFER(包含6吋WAFER)
若實驗內容含有金屬或者丙銅(Aceton)請在站槽的左半邊操作(禁止使用右半邊)
右方為黃光製程使用
禁自行攜帶酸鹼以及實驗儀器(需使用110或220插座之儀器)
機台下方為中心提供化學藥品之放置區,請勿放置私人用品,如發現將以違規論
使用後之化學廢液,請放置於化學藥品回收櫃分類倒入
吳若穎 小姐
mail:wury@mx.nthu.edu.tw
03 - 5742291
或校內分機 42291