NX2000奈米壓印系統（NX2000）
儀器說明
一、 廠牌與型號：
Nanonex／ NX2000
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二、用途
以熱壓式或光照式的壓印方式進行圖形轉移
三、重要規格
壓印模式：Thermal curing, UV curing
4 inch wafer或破片
氣壓式加壓：0~600 psi
熱壓壓式加熱範圍：RT~200 ℃
500W汞燈光源：320~390 nm
四、注意事項：
光阻與薄膜等製程耗材須自備
若須製程支援可與中心聯絡
五、服務項目及收費標準
| 設備名稱 / 服務項目 | 清大 | 其他學界 | 業界 | ||
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NX2000奈米壓印系統 |
委託代工 |
開機費(2hr) |
3,000元/次 |
4,500元/次 |
6,000元/次 |
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超過開機時間 加收費 |
1,500元/時 |
2,000元/時 |
3,000元/時 |
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自行操作 |
開機費(2hr) |
1,600元/次 |
2,400元/次 |
3,200元/次 |
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超過2hr 每15分鐘加收 |
200元/刻鐘 |
300元/刻鐘 |
400元/刻鐘 |
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光阻與薄膜等製程耗材須自備或洽中心助理 |
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六、操作手冊
七、代工申請表
代工交件、取件統一窗口為 林瑟蘭 小姐，送代工前請先向機台負責人連繫 ( 電話或電郵 ) 確認後，送件至中心 林小姐
八、機台即時訊息
九、負責人員