電子束微影系統(E-beam lithography system)
儀器說明
一、 廠牌與型號：
ELIONIX INC. /ELS-7800
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二、用途
利用電子束畫出圖形
三、重要規格
電壓：80KeV
電流： 200pA ~ 10pA
最小線寬：20nm （Positive resist, thickness < 100nm）, 100nm（Positive resist, thickness = 300nm）
基板尺寸：2 inch~6 inch full wafer或破片(破片需大於10mm2並且小於25mm2)
四、注意事項：
基板必須能夠導電
不得進鐵磁材料
五、服務項目及收費標準
一、收費標準
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設備名稱 / 服務項目 |
清大 |
其他學界 |
業界 |
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電子束微影系統（E-beam lithography system） |
委託代工 |
開機費(2hr) |
3,000元/次 |
4,000元/次 |
6,000元/次 |
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超時費 |
1,500元/時 |
2,000元/時 |
3,000元/時 |
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自行操作 |
開機費(2hr) |
2,000元/次 |
2,800元/次 |
3,600元/次 |
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超時費 |
250元/刻鐘 |
350元/刻鐘 |
450元/刻鐘 |
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耗材、光阻、基板費用另計 |
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二、會員優惠方案
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機台 |
〔自行操作〕優惠方案 |
折扣 |
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E-beam |
一次預付(須一年內用完) |
10萬元 |
使用費：1,000元/hr 加贈 10hrs使用時數 |
【備註】
1. 本機台僅開放博士班學生及博士級研究人員自行操作或加入會員。
2. 欲自行操作機台或加入會員者須受訓5次，經考核通過後，方可使用機台。
3. 取得自行操作資格後，每半年內，皆須有使用紀錄，才可延續操作資格。
六、操作手冊
七、代工申請表
代工交件、取件統一窗口為 林瑟蘭 小姐，送代工前請先向機台負責人連繫 ( 電話或電郵 ) 確認後，送件至中心 林小姐
八、機台即時訊息
九、負責人員