FE-SEM場發射電子顯微鏡
儀器說明
一、 儀器廠牌型號：
場發射掃瞄式電子顯微鏡
【廠牌型號】：JSM-7000F, JAPAN ELECTRON OPTICS LABORTARY CO., LTD. (JEOL)
本機台可應用於一般金屬、陶瓷、高分子等材料之尺寸量測。
二、重要規格
加速電壓：0.5 to 30 KV
放大倍率：30 to 250000
解像力：1.2 nm (30 KV)、 1.5 nm (15 KV) 、3.0 nm (1KV)
三、白金濺鍍機
白金濺鍍機之使用目的在增加試片的導電度，方便利用掃瞄式電子顯微鏡擷取清晰之二次電子影像，濺鍍機之使用以不影響量測結果為主。
四、服務項目及收費標準
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設備名稱 / 服務項目 |
清大 |
其他學界 |
業界 |
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FE-SEM場發射電子顯微鏡 |
委託代工 |
代工費 |
1,500元/時 |
2,000元/時 |
2,500元/時 |
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上機前樣品處理、量測、數據圖片處理。 |
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報告費 |
若需［國立清華大學奈微與材料科中心］測試報告(含3張圖片，每張圖片分析6個點)，除代工費，需另加收2,000元。 |
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自行操作 |
開機費 (2hr) |
1,500元/次 |
2,000元/次 |
4,000元/次 |
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| 超時費 | 750元/時 | 1,000元/時 | 2,000元/時 | ||
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鍍白金費用 |
200元/半小時 |
300元/半小時 |
400元/半小時 |
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六、聯絡人：