此機台系統具高度穩定性，可防止量測時所造成之震動與誤差。再配上高頻探針，可量測DC至40GHz之微波特性。除此之外，為使量測高精準性，還搭配了探針調整片與高頻訊號較準片。

可量測40Hz至110MHz的實部、虛部阻抗與相位等，除了掃描頻段的高解析度外，量測值的高精準度亦是其優點。量測方式是採用4埠(1組電壓、1組電流)的精密量測方式，以Auto-Balancing Bridge原理作電性的量測。

提供45MHz至50GHz的掃頻量測，及高動態範圍的高精準度與頻域、時域分析功能，可大大提昇微波性質量測之準確性。再搭配上微波網路分析儀附屬置具與精密薄膜探針機台系統，可提供微波通訊上微帶型、共平面型之濾波器、相移器等的量測。

用來量測平面膜之透磁儀結構如下圖所示，其係由一平行操作板與一組屏蔽的迴圈所組成，適用範圍為1 MHz至3 GHz。除了在迴圈的部分，線路中皆有50Ω的阻抗匹配。透磁率（μr = μr'- jμr"）的量測係經由校正而得出的相對數值，膜狀的樣品是放置於迴圈中以進行量測。

量測過程中先萃取出未經校正之透磁率虛部（μrel），然後再經由校正值得出一校正參數（K1）。經此步驟可得到低頻之透磁率與理論起始透磁率關係如下：

上式中Ms為飽和磁化量，Hk為磁晶異向場而Ha為使試片飽和之直流電場。經過再處理後，最後可得到校正後的頻率與透磁率關係如下：μr = K1μrel
本文節錄自Journal of Magnetism and Magnetic Materials 242–245 (2002) 970–97