全新機台「橢圓偏光儀 (Spectroscopic Ellipsometry)」優惠進駐本中心清華實驗室無塵室，歡迎多加利用

• 廠牌與型號

  廠牌：J.A. Woollam

  型號：M2000

• 用途

  以非接觸，非破壞性方式，量測薄膜厚度。

• 重要規格

1. 量測光譜範圍：245nm – 1000nm
2. 光源：75瓦 氙燈
3. 測量方式：具備自動可變測量角度，透過電腦設定量測角度，入射角度範圍從45度到90度
4. 載台形式：200mm ± 10mm 樣品台尺寸，移動行程：XＹ皆為100mm± 10mm；帶真空吸附的臥式平台，需包含真空泵
5. 可量測膜厚範圍：5 nm至5 μm
6. 基板種類：Si、Glass、Quartz、不鏽鋼
7. 薄膜材料種類：有機高分子材料、氮化物、半導體材料、介電質材料、金屬材料等

• 可量測項目

1. 薄膜厚度
2. 薄膜或基板材料的光學常數(ex:折射率 n 、消光係數 k)
3. 薄膜表面粗糙度
4. 多層材料

• 更多資訊歡迎進一步至本中心「設備總覽與收費」查詢，或與本機台負責人員聯繫：

         負責助理： 吳若穎小姐 (wury@mx.nthu.edu.tw)

         03-5742292   校內分機 #42293