電子槍真空蒸鍍系統 I（E-Gun System I）
儀器說明
一、 廠牌與型號：
ULVAC
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二、用途
電子槍蒸鍍Al, Ti, Au, Pt, Ni, Cu, Cr等金屬膜
三、重要規格
- Power supply: Maximum 300 W
- Substrate heating: 0~300 ℃
- Operating pressure: < 8*10-6 torr
- Crucible size: 10 ㏄
注意事項：
- 請詳細註明欲鍍膜之厚度及種類
- 4 吋晶圓(最多12片) 或 6吋晶圓(最多3片)，若欲鍍破片請洽中心助理
- 機台單次run鍍膜厚度最大為8000Å且run與run間須讓Power supply休息30 min
- 操作時間自破真空開始至試片取出，並完成真空抽氣為止
- 本中心提供Al, Ti, Ni, Cu, Cr等靶材及坩鍋（一般金屬靶材使用費已含於儀器使用費中），其它貴重金屬請自備
- 本中心可代為蒸鍍黃金、白金等貴重金屬，點這裡查看金屬收費標準
四、服務項目及收費標準
| 設備名稱 / 服務項目 | 清大 | 其他學界 | 業界 | ||
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電子鎗真空蒸鍍系統 （E-Gun System） |
委託代工 |
開機費(2hr) |
3,000元/次 |
4,000元/次 |
6,000元/次 |
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超過開機時間加收費用 |
1,500元/時 |
2,000元/時 |
3,000元/時 |
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自行操作 |
開機費 (2hr) |
8,00元/次 |
1,600元/次 |
2,400元/次 |
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超過 開機時間 加收費用 |
100元/刻鐘 |
200元/刻鐘 |
300元/刻鐘 |
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加收費用 |
靶材 費用 |
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五、操作手冊
六、代工申請表
代工交件、取件統一窗口為 林瑟蘭 小姐，送代工前請先向機台負責人連繫 ( 電話或電郵 ) 確認後，送件至中心 林小姐
七、機台即時訊息
八、負責人員