紫外光臭氧清洗系統 (UV & Ozone Dry Stripper)
儀器說明
一、 廠牌與型號：
日本SAMCO Model:UV-1
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二、用途
三、重要規格
1. III-V晶圓、含有金屬晶圓適用
2. Gas：O2
四、服務項目及收費標準
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設備名稱 / 服務項目 |
清大 |
其他學界 |
業界 |
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UV & Ozone Dry Stripper |
委託代工 |
開機費(0.5hr) |
1,000元/次 |
1,500元/次 |
2,000元/次 |
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超時費 |
500元/刻鐘 |
750元/刻鐘 |
1,000元/刻鐘 |
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自行操作 |
開機費(0.5hr) |
500元/次 |
750元/次 |
1,000元/次 |
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超時費
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250元/刻鐘 |
375元/刻鐘 |
500元/刻鐘 |
五、操作手冊
六、代工申請表
代工交件、取件統一窗口為南育成大樓313室 林瑟蘭 小姐，送代工前請先向機台負責人連繫 ( 電話或電郵 ) 確認後，送件至中心南育成大樓313室 林小姐
負責人員